Cible en titane

Pureté
La pureté est l'un des principaux indicateurs de performance de la cible, car la pureté de la cible a une grande influence sur les performances du film . cependant, dans les applications pratiques, les exigences de pureté pour la cible ne sont pas les mêmes ., par exemple, avec le développement rapide de l'industrie de la microélectronique, la largeur de la puce en silicium a été développée à partir de 6 "", 8 0 . 5UM à 0 . 25UM, 0,18UM ou même 0,13UM, et la pureté cible de 99,995% peut répondre aux exigences de processus de 0,35umique.
Contenu d'impureté
Les impuretés des solides cibles et de l'oxygène et de la vapeur d'eau dans les pores sont les principales sources de pollution des films déposés . Les cibles à différentes fins ont des exigences différentes pour différents contenus d'impureté ., par exemple, l'aluminium pur et les cibles en alliage en aluminium utilisées dans l'industrie des semi-conducteurs ont des exigences spéciales pour un contenu métallique alcali
Densité
Afin de réduire la porosité dans la cible solide et d'améliorer les performances du film pulvérisé, la cible est généralement nécessaire pour avoir une densité élevée . La densité de la cible affecte non seulement le taux de pulvérisation, mais affecte également la densité électrique et optique, la meilleure du film.. La densité et la résistance de la cible rendent la cible mieux à même de résister à la contrainte thermique pendant la pulvérisation . est également l'un des indices de performance clés du matériau cible .